Các mô-đun ổ trục không khí dựa vào màng không khí mỏng cấp micron để thực hiện lực nâng không tiếp xúc. Màng không khí cực kỳ mỏng và những gợn sóng nhỏ trên bề mặt đế của bàn làm việc bằng đá granit sẽ trực tiếp thay đổi sự phân bổ khe hở không khí, dẫn đến dao động áp suất màng không khí và độ cứng bay không ổn định. Nhiều nhà tích hợp thiết bị dễ mắc sai lầm khi lắp ráp các mô-đun ổ trục khí: họ chỉ tập trung vào việc đọc độ phẳng của bàn làm việc tại thời điểm giao hàng mà bỏ qua tính đồng nhất và độ ổn định lâu dài của độ phẳng. Ngay cả khi độ chính xác của một điểm đáp ứng tiêu chuẩn, các gợn sóng bề mặt không đồng đều sẽ gây ra hiện tượng giật tư thế và nhảy định vị khi thanh trượt chịu lực di chuyển ở tốc độ cao, điều này sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của toàn bộ hệ thống chuyển động cấp nano. Do đó, độ phẳng của bề mặt đế của bàn làm việc chịu lực không khí chỉ có thể được đánh giá bằng một chỉ số số duy nhất. Thay vào đó là một tiêu chuẩn toàn diện kết hợp giữa vật liệu, công nghệ xử lý và kiểm tra toàn diện. Tập đoàn UNPARALLELED đã thiết lập một hệ thống kiểm soát độ phẳng đặc biệt dành cho các điều kiện làm việc phù hợp với mô-đun ổ trục không khí.
Cốt lõi của hoạt động mang không khí là duy trì màng không khí ở mức micron ổn định và đồng đều. Thông thường độ dày của màng không khí chỉ vài micron. Bất kỳ chỗ lồi hoặc lõm cục bộ nào trên bề mặt đế sẽ làm thay đổi kích thước khe hở. Các chỉ số độ phẳng của nền đá granit thông thường hầu hết chỉ đáp ứng nhu cầu đo tĩnh và không phù hợp với điều kiện làm việc chuyển động động của vòng bi không khí. Chất nền bàn làm việc bằng đá granit đen UNPARALLELED® có mật độ 3100kg/m³, độ giãn nở thấp và độ giảm chấn cao. Nguyên liệu thô trải qua quá trình lão hóa đá thô số lượng lớn trước để giải phóng ứng suất tự nhiên bên trong, ngăn chặn sự biến dạng chậm của bề mặt tham chiếu của bàn làm việc dưới sự biến động nhiệt độ và tải trọng lâu dài. Nó đảm bảo rằng về cơ bản, chỉ số độ phẳng có thể được duy trì trong thời gian dài, thay vì đáp ứng tiêu chuẩn tạm thời trong thời gian ngắn.
Đối với bàn làm việc bằng đá granit được trang bị mô-đun chịu lực không khí, tiêu chuẩn độ phẳng lõi là độ phẳng của bề mặt tham chiếu toàn diện đạt đến mức nanomet, trong khi độ sóng cục bộ được kiểm soát và độ lệch mặt phẳng trong mỗi mét được kiểm soát chặt chẽ trong phạm vi micron. Ngoài độ phẳng tổng thể, độ gợn sóng cục bộ của bề mặt sóng ngắn là hạng mục đánh giá quan trọng đối với các ứng dụng chịu lực không khí. Những gợn sóng dài và nhẹ nhàng có thể được màng không khí lấy trung bình vừa phải, nhưng những gợn sóng nhỏ ở khoảng cách ngắn sẽ trực tiếp làm xáo trộn trường áp suất của màng không khí và gây ra dao động độ cao trong khi đường trượt di chuyển. Chúng tôi hoàn thiện quá trình mài siêu chính xác trong xưởng có nhiệt độ không đổi, độ ẩm không đổi và chống rung. Sàn nhà xưởng dày hơn 1000mm và được trang bị các rãnh chống sốc để cách ly nhiễu rung bên ngoài và ngăn ngừa các lỗi gợn sóng bề mặt do rung động mặt đất gây ra trong quá trình mài. Quá trình lão hóa theo giai đoạn được áp dụng trong quá trình xử lý. Phôi được giữ tĩnh sau mỗi quy trình mài để giải phóng ứng suất xử lý và tránh biến dạng bề mặt do tích tụ ứng suất.
Phương pháp kiểm tra độ phẳng cũng khác với kiểm tra tại chỗ thông thường. Thay vì chỉ đo một số điểm chéo trên mặt bàn, việc thu thập toàn bộ diện tích lưới đa điểm được áp dụng. Giao thoa kế laser, đồng hồ đo quay số Mahr và thước đo điện tử WYLER của Thụy Sĩ được sử dụng để đo quét liên tục nhằm thu được dữ liệu địa hình hoàn chỉnh của toàn bộ bề mặt làm việc và đánh giá sai số mặt phẳng của toàn bộ khu vực. Toàn bộ chuỗi đo lường có thể được truy xuất nguồn gốc từ viện đo lường quốc gia và sẽ được cấp báo cáo kiểm tra với chứng chỉ truy xuất nguồn gốc đầy đủ. Theo ứng dụng của thiết bị của khách hàng, có thể phân biệt các cấp độ chính xác khác nhau: tiêu chuẩn độ phẳng cực cao cơ bản được áp dụng cho bàn làm việc mang không khí kiểm tra quang học thông thường; đối với các nền tảng chịu lực không khí cao cấp phù hợp với chất bán dẫn và in thạch bản, độ sóng cục bộ và dung sai mặt phẳng sẽ được thắt chặt hơn nữa để đáp ứng các kịch bản định vị nano.
Cấu trúc và công nghệ bề mặt cũng giúp đảm bảo hiệu quả hoạt động của ổ trục hơi. Nếu khách hàng cần áp dụng nó trong các xưởng sạch sẽ, bề mặt bàn làm việc có thể được xử lý bằng cách bịt kín, thụ động và đánh bóng gương để đóng các vi lỗ của đá, giảm lượng mưa hạt và độ nhám bề mặt thấp hơn, ngăn chặn tấm đệm khí không bị trầy xước bởi bề mặt gồ ghề và tránh cản trở quá trình hình thành màng không khí. Chúng tôi cũng có thể tối ưu hóa cấu trúc đỡ của mặt bàn theo cách bố trí các mô-đun ổ trục không khí để phân phối tải trọng và ngăn chặn sự suy giảm độ phẳng của đế do ứng suất không đồng đều sau khi lắp ráp các mô-đun ổ trục không khí. Nếu cần giảm trọng lượng, có thể thực hiện gia công lỗ nhẹ cấu trúc liên kết để giảm trọng lượng bản thân trên cơ sở đảm bảo độ cứng tổng thể mà không làm hỏng độ phẳng của bề mặt tham chiếu.
Độ ổn định của hệ thống chịu lực không khí phần lớn được xác định bởi độ phẳng đồng đều của bề mặt đế đá granite. Có thể dễ dàng đạt được độ chính xác cao tại một điểm, nhưng để nhận ra lực nâng ổn định trong thời gian dài mà không bị biến dạng tư thế cho các mô-đun ổ trục không khí, cần có sự hỗ trợ chung của ứng suất vật liệu ổn định, công nghệ mài chính xác và kiểm tra địa hình toàn khu vực. UNPARALLELED thực hiện kiểm soát độ phẳng trong toàn bộ quá trình bao gồm lão hóa đá thô, xử lý mài và kiểm tra trước khi giao hàng, để có thể kiểm soát ổn định địa hình bề mặt của bàn làm việc bằng đá granit. Nó đảm bảo màng không khí đồng nhất và ổn định của các mô-đun ổ trục không khí trong điều kiện làm việc chuyển động tịnh tiến tốc độ cao và cung cấp các tiêu chuẩn đáng tin cậy cho tất cả các loại nền tảng chuyển động không ma sát siêu chính xác.