Trong lĩnh vực nền tảng chuyển động tuyến tính mang không khí-tốc độ cao{1}}, bệ quét quang học và bàn làm việc mang không khí-kiểm tra wafer, hiệu suất toàn diện của chất nền quyết định trực tiếp đến độ trơn tru khi vận hành của vòng bi không khí, khả năng lặp lại chuyển động và độ ổn định dịch vụ-lâu dài. Nhiều nhà sản xuất thiết bị liên tục so sánh hợp kim nhôm, gang, gốm sứ và các vật liệu đá khác nhau và cuối cùng hầu hết họ đều chọn đá granite đen mật độ-cao làm chất nền chính cho bệ chịu lực khí. Người ta biết rộng rãi rằng đá granit mang lại hiệu suất giảm rung tuyệt vời. Tuy nhiên, ít người nhận ra rằng đá granit đen sở hữu nhiều điểm mạnh cốt lõi mà các vật liệu khác không thể tái tạo được trong các điều kiện vận hành đặc biệt của hệ thống chịu lực không khí. UNPARALLELED từ lâu đã chuyên về các thành phần đá granit có độ chính xác cực- được tùy chỉnh, cung cấp khung đế, dầm và bàn làm việc cho các nhà sản xuất thiết bị ổ trục khí trên toàn thế giới. Dựa trên kinh nghiệm dự án thực tế phong phú, chúng tôi phân tích giá trị độc đáo của đá granit đen đối với các bệ đỡ không khí.
Hệ thống ổ trục không khí thực hiện chuyển động không-tiếp xúc dựa vào một lớp khí áp suất cao-mỏng. Biến dạng bề mặt nhỏ, sự gợn sóng vi mô-trên bề mặt và biến dạng nhiệt sẽ trực tiếp dẫn đến hiện tượng rung lắc của thanh trượt và dao động áp suất không khí. Hợp kim nhôm có trọng lượng nhẹ nhưng có hệ số giãn nở nhiệt tương đối cao, khiến nền tảng dễ bị biến dạng khi nhiệt độ môi trường thay đổi. Gang có độ cứng thuận lợi nhưng có nguy cơ ăn mòn trong quá trình sử dụng-lâu dài, trọng lượng bản thân quá-và khả năng giảm chấn hạn chế. Gốm sứ thể hiện độ ổn định nhiệt vượt trội, tuy nhiên việc tạo hình nguyên khối có kích thước lớn rất khó khăn với chi phí gia công cao. Đá granit có màu sáng thông thường{11}}có sự phân bố khoáng chất bên trong không đồng đều và độ xốp cao hơn, dẫn đến độ kín không đủ sau khi hoàn thiện bề mặt, khiến nó không thích hợp cho việc cung cấp khí liên tục cho các cấu trúc chịu lực không khí. Ngược lại, đá granite đen UNPARALLELED® có các tinh thể được sắp xếp đồng đều và dày đặc với độ xốp cực thấp. Sau khi mài cực kỳ chính xác, bề mặt của bệ đạt được độ kín vượt trội, duy trì màng không khí đồng nhất ổn định, ngăn chặn sự rò rỉ cục bộ của khí áp suất cao{15}}và đảm bảo vòng bi khí hoạt động ổn định liên tục.
Giảm rung là một chỉ số không thể thiếu cho các bệ đỡ không khí. Chuyển động tịnh tiến có tốc độ cao-và các nhiễu loạn bên ngoài xưởng tạo ra rung động. Sau khi rung động truyền đến bàn làm việc mang-không khí, nó sẽ làm mất ổn định-màng không khí siêu mỏng, làm giảm độ chính xác định vị và làm mờ hình ảnh quang học. Rung động phân rã chậm và tồn tại lâu hơn trong vật liệu kim loại. Để so sánh, đá granit đen vốn có đặc tính giảm chấn cao; Năng lượng rung động có thể được hấp thụ nhanh chóng bởi các bề mặt tinh thể bên trong của đá, giúp giảm thiểu rủi ro cộng hưởng một cách hiệu quả. Đặc biệt đối với các bệ đỡ không khí tốc độ cao-di chuyển dài{9}}, rung động do va chạm tạo ra trong quá trình khởi động và dừng có thể được giảm đi nhanh chóng bởi nền đá granite để giữ cho đầu chuyển động luôn ổn định. Đây là lý do chính khiến đá granit đen được ưu tiên làm bệ đỡ không khí được triển khai trong thiết bị đo lường bán dẫn và kiểm tra quang học có độ chính xác cao.
Độ ổn định nhiệt theo kích thước xác định công suất của thiết bị chịu lực không khí để vận hành liên tục suốt-2{1}}đồng hồ. Các xưởng có sự dao động nhiệt độ ban ngày nhỏ và việc vận hành thiết bị liên tục cũng tạo ra nhiệt độ nhẹ. Đá granit đen có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp và sự giãn nở nhiệt và co lại dưới sự thay đổi nhiệt độ của nó nhẹ hơn nhiều so với vật liệu kim loại. Bệ đỡ ổ trục không khí chứa các vi lỗ chính xác, các rãnh cấp khí và các bề mặt tham chiếu định vị. Bất kỳ biến dạng nhỏ nào cũng sẽ làm thay đổi khe hở mang không khí. Việc sử dụng chất nền đá granit đen giúp giảm thiểu sự thay đổi độ dày màng không khí do trôi dạt nhiệt, giảm độ lệch chính xác sau khi vận hành thiết bị kéo dài và cắt giảm hiệu chuẩn thường xuyên, thích ứng với hoạt động kiểm tra hàng loạt không ngừng nghỉ 24- giờ trong các nhà máy.
Các bệ đỡ không khí thường dành các rãnh cấp khí, lỗ lắp ren và vùng hấp phụ chân không, đặt ra các yêu cầu nghiêm ngặt về khả năng gia công và độ ổn định cấu trúc của chất nền. Đá granite đen cao cấp có độ cứng vừa phải và kết cấu đồng nhất. Nó hỗ trợ gia công phức tạp như tạo rãnh, khoan và làm rỗng, đồng thời chống lại sự tập trung ứng suất cục bộ và nứt sau khi xử lý. Ngoài ra, vật liệu này có khả năng chống oxy hóa-và không nhạy cảm với độ ẩm, loại bỏ nhu cầu về lớp phủ bảo vệ bổ sung và loại bỏ nguy cơ ô nhiễm màng không khí do bong tróc lớp phủ. Nhiều thiết bị mang không khí được triển khai trong phòng sạch. Đá granit đen duy trì các đặc tính hóa lý ổn định và sẽ không thải ra các chất gây ô nhiễm dạng hạt, tuân thủ các tiêu chuẩn sản xuất không có bụi-trong ngành bán dẫn và quang điện tử.
Hình thành nguyên khối nâng cao hơn nữa giá trị ứng dụng của đá granit đen. Có thể xử lý các dầm chịu lực khí di chuyển dài-lớn và các bàn làm việc mang khí nén hình vuông cực lớn- từ một khối đá duy nhất để đạt được cấu trúc nguyên khối liền mạch. Các cấu trúc nối chắc chắn chứa các khoảng trống giao diện dễ gây rò rỉ khí. Ngoài ra, độ cứng không nhất quán ở các mối nối dẫn đến biến dạng không đồng đều dưới tải trọng dài hạn. Các thành phần đá granit đen nguyên khối tránh được những nhược điểm trên với độ cứng tổng thể cân bằng và độ chính xác tham chiếu thống nhất. Được hỗ trợ bởi một xưởng làm sạch có nhiệt độ{10}độ ẩm không đổi Cấp 10.000, chúng tôi tiến hành thử nghiệm độ chính xác đa chiều và-lao cực kỳ chính xác để đảm bảo rằng độ phẳng và độ gợn sóng của bàn làm việc đáp ứng các thông số kỹ thuật bề mặt nghiêm ngặt cần thiết cho hoạt động ổ trục khí.
Không có vật liệu đơn lẻ nào có thể phù hợp với mọi điều kiện làm việc. Tuy nhiên, đối với các nền tảng chuyển động mang không khí yêu cầu độ chính xác dưới-micron và nanomet, đá granit đen tích hợp nhiều đặc điểm bao gồm độ giãn nở thấp, độ giảm chấn cao, độ xốp thấp, hiệu suất hóa lý ổn định và tính khả thi cho gia công nguyên khối quy mô-lớn, mang lại những lợi thế toàn diện không thể thay thế. UNPARALLELED liên tục tối ưu hóa công nghệ gia công đá granite đen. Chúng tôi phát triển các giải pháp xử lý độc quyền nhắm vào các rãnh cấp khí, bề mặt bịt kín và các tham chiếu lắp đặt của bệ đỡ đệm khí, đồng thời cung cấp các giải pháp thành phần tham chiếu bằng đá granite ổn định lâu dài cho-các bệ chuyển động ổ trục đệm khí cao cấp.