Với sự tiến bộ không ngừng của ngành sản xuất-có độ chính xác cao cấp, việc kiểm tra quang học AOI, đo lường tấm bán dẫn, máy đo tọa độ và nền tảng động cơ tuyến tính mang-không khí đã đặt ra các yêu cầu về độ chính xác cao hơn cho các sóng mang tham chiếu. Đá granit đen mật độ-cao đã trở thành vật liệu tham khảo phổ biến nhờ các đặc tính vật liệu độc đáo của nó. Tuy nhiên, liệu hiệu suất tuyệt vời vốn có của đá thô có thể được sử dụng triệt để hay không phần lớn phụ thuộc vào quá trình xử lý bề mặt. Nhiều người mua đã đặt ra câu hỏi: các vụ nổ đá granit từ cùng một mỏ đá cung cấp các nền tảng tham chiếu với độ chính xác rất khác nhau sau khi xử lý. Điểm khác biệt cốt lõi nằm ở-công nghệ mài siêu chính xác. Dựa trên nhiều năm kinh nghiệm trong lĩnh vực xử lý đá có độ chính xác cực cao-và được trang bị dây chuyền sản xuất sạch có nhiệt độ-có độ ẩm không đổi Cấp 10.000, UNPARALLELED trình bày chi tiết về logic quy trình hoàn chỉnh về cách thức-nâng cấp các mặt phẳng tham chiếu đá granit bằng cách mài siêu chính xác.
Mài thô và mài hoàn thiện thông thường là các phương pháp xử lý cơ bản phổ biến trong công nghiệp, chỉ đơn thuần là định hình đường nét chung. Khi cắt bằng đá mài kim cương, các vết gia công, độ gợn sóng vi mô và các lớp hư hỏng dưới bề mặt sẽ vẫn còn trên bề mặt đá granit. Mặc dù nền tảng trông có vẻ phẳng và mịn về mặt trực quan, nhưng các va chạm và thung lũng vi mô sẽ cản trở đường dẫn quang học và hoạt động của thanh trượt ổ trục không khí-trong điều kiện làm việc micron và submicron, dẫn đến hình ảnh bị biến dạng và lỗi định vị lặp đi lặp lại. Những chiếc máy bay như vậy chỉ phù hợp với các thiết bị tự động thông thường. Đối với-thiết bị cao cấp phục vụ ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện tử, kỹ thuật mài truyền thống vốn có giới hạn về độ chính xác. Các quy trình mài siêu chính xác-có hệ thống là cần thiết để vượt qua những giới hạn đó. Các vết nứt nhỏ và hư hỏng do đùn tạo ra trong quá trình xử lý thô được ẩn bên dưới bề mặt đá granit. Nếu không được loại bỏ hoàn toàn, việc giải phóng ứng suất dần dần sẽ liên tục làm giảm độ chính xác của độ phẳng trong quá trình sử dụng sau này. Quá trình mài siêu chính xác-loại bỏ quy trình xử lý một-bước và áp dụng quá trình mài lũy tiến từ mài mòn thô đến mài mòn mịn. Kích thước hạt mài mòn cho mỗi quy trình được kết hợp chặt chẽ với khả năng loại bỏ vật liệu để loại bỏ hoàn toàn dấu vết còn sót lại của quy trình trước đó và bị cấm bỏ qua bất kỳ giai đoạn mài nào. Phương tiện mài mòn phù hợp được phát triển cho cấu trúc tinh thể dày đặc của đá granit đen UNPARALLELED® độc quyền để giảm vết trầy xước do các hạt khoáng cứng gây ra. Chu trình thay thế chất mài mòn tiêu chuẩn được triển khai để ngăn bề mặt hoàn thiện không bị trầy xước bởi chất mài mòn thụ động và đảm bảo chất lượng bề mặt đồng nhất trên các nền tảng định dạng lớn.
Nhiệt và bụi là hai trở ngại vô hình đối với việc mài siêu{0}}chính xác. Nhiệt ma sát sinh ra trong quá trình mài kích hoạt sự giãn nở vi mô cục bộ của đá granite. Các hạt lơ lửng trong không khí bị mắc kẹt trên bề mặt tiếp xúc sẽ gây ra những vết xước vĩnh viễn trên đá. Các xưởng mở phải chịu sự biến động nhiệt độ ban ngày-đêm nghiêm trọng. Phôi tiếp xúc với nhiệt độ thay đổi trong quá trình xử lý và vận chuyển sẽ có độ lệch kích thước tạm thời sau khi mài. UNPARALLELED vận hành một xưởng sạch có nhiệt độ và độ ẩm không đổi Cấp 10.000 độc quyền. Phạm vi dao động nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ và quá trình lọc không khí diễn ra liên tục. Phôi không được chuyển qua các vùng trong suốt quá trình mài để giảm biến dạng gây ra bởi sự thay đổi nhiệt độ. Kiểm soát nhiệt độ ngăn chặn nhiệt ma sát trong quá trình mài, đảm bảo hoàn thiện bề mặt khi đá granite duy trì kích thước ổn định và khóa ở dạng hình học phẳng đích thực, vĩnh viễn. Một đường mài chuyển động tịnh tiến đơn giản dễ dàng tạo ra độ gợn sóng định kỳ, dẫn đến việc loại bỏ vật liệu không nhất quán giữa tâm và các cạnh của bệ, đặc biệt đối với các thành phần đá granit nguyên khối lớn. Chúng tôi áp dụng các đường mài xoay hỗn hợp hành tinh để loại bỏ các khiếm khuyết về kết cấu thông thường. Trong khi đó, việc kiểm soát áp suất linh hoạt theo vùng được triển khai theo kích thước nền tảng, độ dày tấm và độ lệch do trọng lượng bản thân gây ra. Áp suất quá mức sẽ gây ra hư hỏng bề mặt mới, trong khi áp suất không đủ sẽ không thể cắt bỏ các khuyết tật vi mô. Dựa trên nhiều thử nghiệm quy trình, chúng tôi thiết lập cơ sở dữ liệu tham số tiêu chuẩn hóa cho các sơ đồ xử lý tùy chỉnh nhằm đảm bảo độ phẳng nhất quán của toàn bộ tấm, đáp ứng nhu cầu sản xuất của nền tảng AOI định dạng lớn và nền tảng tham chiếu kiểm tra tấm bán dẫn.
Quá trình đùn liên tục trong quá trình mài cơ học sẽ tích tụ ứng suất tạm thời trên bề mặt đá granit. Dữ liệu chính xác đo được ngay sau khi mài chỉ là tạm thời; các chỉ số độ phẳng sẽ thay đổi khi ứng suất được giải phóng dần dần. Trong quy trình chuốt cực kỳ chính xác-hoàn chỉnh, bộ đệm tĩnh ở nhiệt độ-không đổi được bố trí giữa mỗi giai đoạn xử lý để giải phóng hoàn toàn ứng suất bề mặt trước khi cắt tỉa tiếp theo. Sau tất cả các quy trình mài, phôi được giữ cố định cho đến khi kích thước ổn định hoàn toàn trước khi kiểm tra toàn diện. Phương pháp này xác định trước các rủi ro biến dạng tiềm ẩn và đảm bảo nền tảng duy trì được độ phẳng được chỉ định trong thời gian dài sau khi giao cho khách hàng. Cấp độ phẳng không thể được đánh giá chỉ bằng giá trị độ phẳng; độ nhám và độ gợn sóng đều là những chỉ số quan trọng. Một số nền tảng đáp ứng các tiêu chuẩn về độ phẳng nhưng lại hoạt động kém về độ gợn sóng, khiến chúng không tương thích với các hệ thống quang học có độ phân giải cao và các ứng dụng mang khí-. Trong quá trình kiểm tra thành phẩm, xưởng sử dụng thiết bị đo lường{11}đẳng cấp thế giới bao gồm Mahr, Renishaw và Mitutoyo để tiến hành lấy mẫu toàn khu vực-nhiều điểm và xác minh toàn diện tất cả các chỉ số. Tất cả dữ liệu thử nghiệm đều có thể truy nguyên và tuân thủ các tiêu chuẩn chính xác quốc tế DIN và ASME. Chỉ khi nhiều chỉ số đạt tiêu chuẩn đồng thời thì nền tảng mới có thể được xác nhận đáp ứng cấp độ phẳng mục tiêu. Với các chứng chỉ hệ thống ba tiêu chuẩn ISO hoàn chỉnh, chứng chỉ CE và RoHS, chúng tôi hợp tác với các trường đại học và tổ chức đo lường trên toàn thế giới để tiến hành nghiên cứu quy trình liên tục và tối ưu hóa các giải pháp mài.
Việc mài có độ chính xác cực cao-không chỉ kéo dài thời gian mài. Nó đại diện cho một hệ thống quy trình tích hợp kết hợp lựa chọn mài mòn, kiểm soát môi trường, tối ưu hóa đường đi, giảm ứng suất và kiểm tra độ chính xác, đóng vai trò là động lực cốt lõi để nâng cấp độ phẳng của mặt phẳng tham chiếu đá granit. Phục vụ-các nhà sản xuất thiết bị cao cấp trên toàn cầu, UNPARALLELED tiếp tục tối ưu hóa các quy trình mài-có độ chính xác cực cao, tập trung vào sản xuất các thành phần tham chiếu đá granit cấp độ-đo lường quang học có độ ổn định cao{6}}và cung cấp các giải pháp tham chiếu đáng tin cậy cho kiểm tra quang học, đo lường chất bán dẫn và thiết bị tự động hóa chính xác.