Nhiều nhà thiết kế thiết bị đơn giản hóa hệ thống đá granit thành một tấm đá granit. Tuy nhiên, trong các ứng dụng thiết bị có độ chính xác cực cao-, một tấm tham chiếu duy nhất không thể hỗ trợ hoạt động của toàn bộ máy. Một hệ thống cơ khí đá granit trưởng thành là một tổ hợp tham chiếu được xây dựng bởi nhiều thành phần đá granit phối hợp. Mỗi bộ phận thực hiện chức năng riêng của mình để cùng nhau duy trì chuyển động ở cấp độ nano-và độ chính xác của phép đo.
Loại thành phần cốt lõi đầu tiên là đế chính và bệ máy, đóng vai trò là bộ xương-chịu tải của toàn bộ hệ thống. Nó mang theo động cơ tuyến tính, bộ dẫn hướng ổ trục không khí, mô-đun truyền động và cụm quang học, đòi hỏi độ cứng đặc biệt và độ ổn định chiều dài-. Không giống như các công cụ đo lường thông thường, giường máy chịu tải động liên tục và có các yêu cầu nghiêm ngặt về độ nén của vật liệu và giảm ứng suất. Chúng là nền tảng của toàn bộ hệ thống.
Loại thứ hai bao gồm các bộ phận dẫn hướng chuyển động, bao gồm đế dẫn hướng bằng đá granite, đế chịu lực không khí và nền tầng XY. Màng không khí cho các thanh dẫn hướng ổ trục không khí hình thành trực tiếp trên bề mặt đá granit. Độ phẳng và độ thẳng của bề mặt đế quyết định độ êm ái của chuyển động của bệ. Các bộ phận như vậy được tích hợp với bệ máy hoặc được lắp ráp riêng biệt, mang lại-tham chiếu chuyển động có độ chính xác cao cho động cơ tuyến tính và thanh trượt ổ trục khí nén.
Loại thứ ba đề cập đến các công cụ đo đá granite và các thành phần hiệu chuẩn tham chiếu, chẳng hạn như các cạnh thẳng, thước vuông, khối chữ V{0}} và thước vuông. Chúng không chịu tải động của thiết bị và chủ yếu được sử dụng để lắp ráp toàn bộ-máy, hiệu chuẩn độ chính xác, kiểm tra tại nhà máy và xác minh định kỳ. Trong quá trình lắp ráp thiết bị, các kỹ thuật viên dựa vào các bộ phận tham chiếu này để kiểm tra độ vuông góc và độ song song, đảm bảo độ chính xác hình học của toàn bộ hệ thống trong phạm vi thông số kỹ thuật thiết kế.
Loại thứ tư bao gồm các phụ kiện hỗ trợ và định vị: khối đỡ bằng đá granite, ghế cân bằng và giá đỡ cách ly rung. Nhiều sai sót về độ chính xác trong các dự án không xuất phát từ bản thân bệ máy mà từ các điểm đỡ không hợp lý. Đá granite hỗ trợ phân phối tải trọng, phối hợp với các kết cấu san lấp mặt bằng để điều chỉnh tư thế lắp đặt và cách ly các rung động nhỏ của mặt đất, ngăn ngừa biến dạng ứng suất cục bộ của nền chính.
Loại thứ năm là các bộ phận lắp ráp tùy chỉnh, bao gồm cổng, cột và dầm ngang bằng đá granit. Để kiểm tra quang cổng, xử lý laser và thiết bị CMM, cổng và dầm ngang bằng đá granit tạo thành khung chuyển động phía trên. Các thành phần nhịp dài này yêu cầu kiểm soát chặt chẽ độ võng dưới trọng lượng bản thân. Vật liệu phải có độ rão thấp và độ giãn nở nhiệt thấp để tránh hiện tượng lệch khung sau-hoạt động trong thời gian dài.
Trong thực tiễn dự án của UNPARALLELED, một hệ thống đá granit hoàn chỉnh không chỉ đơn giản là lắp ráp các bộ phận riêng lẻ. Mỗi bộ phận đều được xử lý theo tiêu chuẩn đo lường thống nhất và được-lắp ráp trước trong xưởng có nhiệt độ-không bụi-không đổi để xác minh trước dung sai hình học chung. Độ chính xác phù hợp giữa các bộ phận cũng quan trọng không kém độ chính xác gia công của các bộ phận đơn lẻ. Ngay cả một tấm đá granit độc lập có độ-có độ chính xác cao cũng sẽ bị suy giảm độ chính xác tổng thể nhanh chóng nếu kết hợp với các giàn hoặc giá đỡ không đủ tiêu chuẩn.
Sự kết hợp thành phần khác nhau tùy theo các kịch bản ứng dụng. Các giai đoạn bán dẫn XY ưu tiên bệ máy và đế đệm khí; thiết bị laser giàn phụ thuộc nhiều vào giàn và dầm ngang bằng đá granite; thiết bị đo lường yêu cầu một bộ đầy đủ các máy đo tham chiếu bằng đá granit để hiệu chuẩn.
Phần kết luận
Một hệ thống cơ khí đá granite hoàn chỉnh bao gồm bệ máy, đế dẫn hướng chuyển động, đồng hồ đo tham chiếu, giá đỡ thăng bằng và các bộ phận khung giàn. Hạn chế và hỗ trợ lẫn nhau, các thành phần này tạo thành một hệ quy chiếu hình học tích hợp. UNPARALLELED cung cấp giải pháp tất cả trong một cho các bộ phận bằng đá granit hoàn chỉnh, đảm bảo nguyên liệu thô tương đồng và tiêu chuẩn chính xác nhất quán trên tất cả các bộ phận, đồng thời cung cấp tài liệu tham khảo ổn định tích hợp cho thiết bị có độ chính xác cực cao.