Có nhiều nguồn rung vi mô tần số thấp không thể nhận thấy tồn tại bên trong phòng sạch bán dẫn, được tạo ra bởi máy bơm chân không, cần cẩu xử lý vật liệu trên cao, bộ quạt và thiết bị vận hành liền kề. Những rung động này lan truyền qua các tầng và kết cấu tòa nhà đến thiết bị sản xuất. Đối với các công cụ kiểm tra, liên kết và in thạch bản, hiện tượng biến động ở cấp độ nanomet sẽ gây ra các hình ảnh bị mờ, lỗi căn chỉnh và lớp phủ, trực tiếp dẫn đến phế liệu wafer và giảm năng suất. Nhiều nhà sản xuất thiết bị áp dụng nền tảng cách ly rung động bên ngoài để giảm thiểu nhiễu rung. Tuy nhiên, bộ cách ly chỉ có thể lọc một phần rung động truyền ra bên ngoài, với khả năng cải thiện hạn chế đối với rung động tự kích thích do các bộ phận chuyển động của chính thiết bị tạo ra. Khác với khung kim loại, kết cấu cổng bằng đá granite tiêu thụ năng lượng rung ở cấp độ kết cấu nhờ đặc tính giảm chấn bên trong của vật liệu. Nó ngăn chặn cả rung động bên trong và bên ngoài, đáp ứng tốt các yêu cầu nghiêm ngặt về điều kiện làm việc của dây chuyền sản xuất chất bán dẫn.
Rung động tự kích thích là không thể tránh khỏi trong quá trình vận hành thiết bị bán dẫn tốc độ cao. Động cơ tuyến tính và bệ trượt được gắn trên dầm ngang giàn tạo ra rung chấn trong quá trình quét khởi động-dừng tốc độ cao và quét chuyển động tịnh tiến. Giàn trục bằng thép và gang có hiệu suất giảm chấn kém. Một khi rung động xảy ra, nó phân rã chậm và tạo ra tiếng chuông cấu trúc dai dẳng. Rung động dội lại bên trong khung và truyền đến các bộ phận lõi bao gồm thấu kính quang học, giao thoa kế và các tấm bán dẫn. Để tránh các khuyết tật do rung động gây ra, thiết bị phải giảm tốc độ di chuyển và thêm thời gian trễ ổn định, điều này trực tiếp làm giảm thông lượng tổng thể. Nhờ kết cấu tinh thể dày đặc, đá granit tiêu tán năng lượng rung động nhanh chóng thông qua ma sát bên trong giữa các ranh giới hạt và rút ngắn đáng kể thời gian rung động còn lại. Các cụm chuyển động ổn định nhanh chóng sau khi hoàn thành các chuyển động. Độ trễ chờ kéo dài là không cần thiết, cho phép thiết bị đạt được cả độ chính xác định vị ở cấp độ nanomet và thông lượng cao cho các tình huống kiểm tra quét wafer tốc độ cao.
Rung động vi mô truyền ra bên ngoài tạo thành một thách thức khó khăn khác đối với các công cụ bán dẫn. Ngay cả với biện pháp xử lý giảm rung động kỹ thuật dân dụng cho phòng sạch, thiết bị xung quanh khởi động-dừng và cần trục di chuyển liên tục tạo ra rung động kích thích đến sàn nhà máy. Các giàn kim loại hoạt động như đường truyền rung động và dẫn các rung động sàn nhỏ lên phía trên mà không bị cản trở bởi các bộ truyền động. Được hưởng lợi từ quán tính khối lượng và giảm chấn vật liệu có nguồn gốc từ mật độ cao, cổng đá granite làm suy yếu hiệu suất truyền rung động lên sàn, tạo thành một rào chắn đệm rung bên trong cho toàn bộ máy. Nó giảm thiểu sự nhiễu loạn đối với đường quang và hệ thống đo lường. Ngay cả khi có rung động nền nhỏ bên trong xưởng, các bệ đỡ không khí và mô-đun quang học được lắp đặt trên giàn vẫn duy trì các tham chiếu ổn định và giảm sự phụ thuộc quá mức vào các bộ cách ly rung bên ngoài.
Khả năng tránh cộng hưởng mang lại giá trị thiết thực cho thiết bị bán dẫn. Mỗi khung cơ học đều có tần số cộng hưởng tự nhiên. Khi tần số kích thích của xưởng trùng với tần số tự nhiên của thiết bị, quá trình khuếch đại cộng hưởng sẽ xảy ra và phóng đại rung động nhỏ một cách đáng kể, phá hủy sự ổn định của quy trình ngay lập tức. Khung kim loại có xu hướng có các dải tần số tự nhiên chồng lên các dải rung thông thường ở xưởng, làm tăng rủi ro cộng hưởng. Trọng lượng bản thân cao và khả năng giảm chấn vừa đủ của giàn đá granit làm thay đổi tần số tự nhiên tổng thể của thiết bị hoàn chỉnh. Ngay cả khi tiếp cận các dải cộng hưởng, độ giảm chấn cao sẽ triệt tiêu biên độ cộng hưởng và ngăn cản sự khuếch đại rung động mạnh. Nó đảm bảo sự ổn định của quy trình trong quá trình sản xuất không ngừng nghỉ 24/7 và tránh phế liệu wafer hàng loạt do các sự kiện cộng hưởng không mong muốn gây ra.
Truyền rung tại các mối nối kết cấu cũng là vấn đề quan trọng đối với hoạt động sản xuất hàng loạt lâu dài. Giàn kim loại hầu hết được lắp ráp thông qua kết nối hàn và bu lông. Rung động truyền lặp đi lặp lại qua các mối nối và bề mặt bu lông. Rung theo chu kỳ dài hạn có thể làm lỏng các đầu nối và làm giảm hiệu suất giảm rung hơn nữa, đòi hỏi phải siết chặt lại và hiệu chuẩn tại chỗ định kỳ. Các giàn đá granit được mài nguyên khối loại bỏ nhiều giao diện nối và chặn các đường truyền rung. Không có nguy cơ tiềm ẩn về việc bu-lông bị lỏng khi rung theo chu kỳ. Khả năng giảm rung của nó không bị suy giảm trong quá trình sản xuất liên tục nhiều ca, giảm thời gian ngừng hoạt động của dây chuyền sản xuất và phù hợp với yêu cầu về tỷ lệ sử dụng cao của các nhà máy bán dẫn.
Tuy nhiên, không phải tất cả vật liệu đá đều mang lại hiệu quả giảm rung thỏa đáng. Đá cẩm thạch thông thường có nhiều vết nứt bên trong và hạt rời rạc với khả năng giảm chấn kém. Nó không thể tiêu tán năng lượng rung một cách hiệu quả và không thể đáp ứng các yêu cầu quy trình ở cấp độ nanomet cho sản xuất chất bán dẫn. Tập đoàn UNPARALLELED thực hiện sàng lọc quặng thô nghiêm ngặt và loại bỏ những viên đá có vết nứt bên trong và phân bố hạt không đồng đều. Được hỗ trợ bởi khả năng xử lý nguyên khối kích thước lớn và hệ thống xác minh đo lường toàn diện, công ty chuyển đổi tiềm năng giảm rung vốn có của đá granit thành hiệu suất thành phần trong thế giới thực và đảm bảo độ ổn định cấu trúc cho thiết bị bán dẫn.
Tóm lại, khả năng giảm rung của giàn đá granit vượt xa khả năng thay thế vật liệu đơn giản. Nó giải quyết những thách thức về rung vi mô phức tạp trong dây chuyền sản xuất chất bán dẫn từ nhiều chiều: triệt tiêu rung dư tự kích thích, giảm rung động bên ngoài đến, hạn chế biên độ cộng hưởng và tránh suy giảm hiệu suất do các cấu trúc ghép gây ra. Nó bảo vệ độ chính xác ở cấp độ nanomet trong quá trình xử lý và kiểm tra tấm bán dẫn, đồng thời giúp các nhà máy duy trì năng suất sản xuất chip.