1. Tỷ lệ độ cứng cao-đến-trọng lượng cho động lực học tốc độ cao-
Trong in thạch bản và liên kết, các thành phần phải di chuyển ở tốc độ cao với độ trễ bằng không. Gốm sứ tiên tiến mang lại độ cứng cực cao (Mô đun của High Young) trong khi nhẹ hơn đáng kể so với thép. Điều này làm giảm quán tính, cho phép tăng tốc và giảm tốc nhanh hơn mà không ảnh hưởng đến độ chính xác định vị trong hệ thống xử lý tấm bán dẫn.
2. Độ dẫn nhiệt và độ ổn định chưa từng có
Quá trình bán dẫn tạo ra nhiệt cục bộ. Các vật liệu như Silicon Carbide có tính dẫn nhiệt tuyệt vời, tản nhiệt nhanh chóng để ngăn ngừa biến dạng cục bộ. Điều này đảm bảo mâm cặp chân không bằng gốm và các tấm bán dẫn vẫn phẳng hoàn hảo, duy trì mặt phẳng tiêu điểm trong các bước tiếp xúc với tia cực tím quan trọng.
3. Chống mài mòn và quán tính hóa học
Gốm sứ có độ cứng gần như kim cương. Khả năng chống mài mòn này đảm bảo các bộ phận chuyển động có tuổi thọ sử dụng cực kỳ dài mà không tạo ra các hạt. Hơn nữa, quán tính hóa học của chúng khiến chúng tương thích với các loại khí khắc nghiệt và chất tẩy rửa dùng trong quá trình xử lý chất bán dẫn mặt trước.
So sánh vật liệu gốm sứ
| Tài sản | Nhôm (Al2O3) | Cacbua silic (SiC) |
| Độ cứng Vickers | 1500 HV | 2500+ HV |
| Mô đun đàn hồi | 350 GPa | 450 GPa |
| Nhiệt Cond. | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
Câu hỏi thường gặp: Các câu hỏi chính đã được trả lời
Tại sao nên sử dụng SiC thay vì Alumina? SiC có độ cứng cao hơn và độ dẫn nhiệt tốt hơn nhưng giá thành cao hơn.
Các bộ phận bằng gốm có dễ vỡ không? Mặc dù giòn nhưng cường độ nén của chúng rất lớn, khiến chúng trở nên lý tưởng cho các tải trọng chính xác.
Những ngành công nghiệp sử dụng những đồ gốm này? Chủ yếu là các ngành công nghiệp bán dẫn, hàng không vũ trụ và cắt laser.
Bạn có thể sản xuất các hình dạng gốm tùy chỉnh? Có, chúng tôi cung cấp dịch vụ gia công gốm OEM tùy chỉnh cho các bộ phận cơ khí phức tạp.
Kích thước tối đa là bao nhiêu? Chúng tôi có thể sản xuất các bộ phận kết cấu gốm sứ có quy mô lớn lên tới 1000mm trở lên thông qua liên kết phân đoạn.
Đồ gốm có cần vệ sinh đặc biệt không? Chúng có khả năng kháng hóa chất cao nên rất dễ làm sạch khi sử dụng trong phòng sạch.