Thiết bị kiểm tra độ chính xác quang học và bán dẫn chủ yếu dựa vào đường quang ổn định, khả năng thu tín hiệu điện yếu và phản hồi vị trí cách tử có độ chính xác cao. Một số lượng lớn ống kính quang học, cảm biến hình ảnh CCD/CMOS, các thành phần giao thoa laser và cảm biến nhạy từ được lắp đặt bên trong thiết bị. Nếu các thành phần cấu trúc có từ tính thì từ trường tản mát sẽ xảy ra, gây cản trở việc thu tín hiệu, gây biến dạng hình ảnh và sai lệch phép đo, thậm chí ảnh hưởng đến việc diễn giải kết quả kiểm tra cấu trúc vi mô của tấm bán dẫn. Dầm kim loại thông thường thường có từ tính. Mặc dù một số hợp kim đã được khử từ nhưng chúng có xu hướng tạo ra từ tính dư dưới tác động rung động và chuyển động xen kẽ trong thời gian dài. UNPARALLELED Group phát triển dầm đá granit có độ chính xác không-từ tính. Tận dụng đặc tính không{10}từ tính tự nhiên của đá, cùng với công nghệ gia công có độ chính xác cực cao-độc quyền, các dầm này đáp ứng các yêu cầu kép về không-từ tính và tham chiếu chuyển động ổn định cho thiết bị kiểm tra quang học và bán dẫn.
1. Chất nền không có từ tính tự nhiên: Loại bỏ nhiễu từ trường tản lạc khỏi nguồn
Hầu hết đá granit chứa ít khoáng chất sắt từ và sẽ không bị từ hóa hoặc giữ lại từ tính còn sót lại sau khi sàng lọc đặc biệt đối với các khối đá granit không có từ tính. Không giống như các thành phần kim loại, từ trường của nó sẽ không bị trôi đi khi có sự thay đổi về độ rung hoặc nhiệt độ. Trong các tình huống như kiểm tra tấm bán dẫn và đo giao thoa quang học, các bộ phận nhạy từ tính được tích hợp bên trong thiết bị. Ngay cả từ trường tản lạc yếu cũng có thể gây ra độ lệch đường đi của tia laze và bước nhảy cách tử khi đọc, làm giảm khả năng lặp lại của phép đo micron và sub{4}}micron. UNPARALLELED bổ sung tính năng kiểm tra lấy mẫu từ tính khi đá thô đến nhà máy để loại bỏ các khoảng trống trộn với khoáng chất sắt từ, đảm bảo toàn bộ chùm tia vẫn không-có từ tính. Các sản phẩm hoàn thiện không cần xử lý khử từ bổ sung và không có nguy cơ trở lại từ tính khi bị va chạm, mang lại môi trường từ tính sạch cho các đường dẫn quang và hệ thống cảm biến.
2. Hiệu suất tổng hợp đa{1}}vật lý: Tham chiếu chuyển động ổn định ngoài phi-từ tính
Không-có từ tính chỉ là yêu cầu cơ bản. Thiết bị kiểm tra quang học và bán dẫn cũng đặt ra những yêu cầu nghiêm ngặt về độ ổn định nhiệt, độ cứng động và khả năng khử rung của dầm. Với hệ số giãn nở nhiệt thấp, dầm đá granit có độ chính xác không-từ tính chịu sự thay đổi kích thước tối thiểu do sự tăng nhiệt độ từ động cơ và các bộ phận quang học trong quá trình hoạt động liên tục trong thời gian dài, ngăn chặn hiệu quả sự trôi nhiệt của tham chiếu lắp cho ray dẫn hướng và thang đo tuyến tính. Khả năng giảm chấn của vật liệu cao giúp hấp thụ rung động được tạo ra trong quá trình chuyển động qua lại tốc độ cao-của các slide và ngăn chặn rung động truyền sang thấu kính quang học và làm mờ hình ảnh. Trong giai đoạn thiết kế, UNPARALLELED thực hiện mô phỏng động và nhiệt để tối ưu hóa mặt cắt ngang-của chùm tia theo phạm vi di chuyển, tải trọng trượt và khả năng tăng tốc của thiết bị kiểm tra. Nó cân bằng độ cứng cao và trọng lượng bản thân- để giảm tải của động cơ tuyến tính và độ lệch động do quán tính chuyển động gây ra. Bạn có thể chọn cấu trúc nguyên khối hoặc cấu trúc được lắp ráp chính xác cho thiết bị quét tấm wafer định dạng-cao{12}}có độ chính xác cao hoặc thiết bị quét wafer định dạng lớn.
3. Quy trình gia công chính xác và-nhúng không từ tính để lắp ráp mô-đun kiểm tra
Không gian bên trong của buồng sạch quang học và bán dẫn đòi hỏi độ sạch cao. Trong khi đó, dầm cần mang nhiều đế quang, thang đo tuyến tính và giá đỡ cảm biến. Các ốc vít nhúng kim loại thông thường tiềm ẩn rủi ro từ tính. UNPARALLELED sử dụng các ống bọc không có từ tính-được nhúng cho các dầm đá granite không có từ tính-, khớp với các chốt không có từ tính-và chất kết dính đặc biệt có độ biến động-thấp. Tất cả các bộ phận lắp ráp đều không có từ tính-và sẽ không tạo ra từ trường cục bộ. Các bề mặt tham chiếu của dầm được bọc nano-trong xưởng cách ly-rung nhiệt độ{12}}không đổi để kiểm soát chặt chẽ độ thẳng, độ song song và độ phẳng. Sau khi gia công, các chùm tia sẽ được làm sạch-không bụi để loại bỏ bụi và mảnh vụn bám vào cũng như tránh nhiễm bẩn hạt trên tấm bán dẫn và thấu kính quang học. Bố trí lỗ được tối ưu hóa thông qua mô phỏng ứng suất để ngăn chặn sự tập trung ứng suất gây ra bởi các lỗ được bố trí dày đặc và biến dạng đá cục bộ trong quá trình siết chặt bu lông. Các cạnh được thụ động hóa để giảm góc chết tích tụ bụi, thích hợp lắp đặt bên trong buồng sạch.
4. Thích ứng điều kiện làm việc cho nhiều thiết bị kiểm tra quang học và bán dẫn
Dầm đá granite có độ chính xác không-từ tính rất lý tưởng cho thiết bị kiểm tra được trang bị cảm biến-nhạy từ tính, giao thoa kế laser và hình ảnh-độ phân giải cao. Các ứng dụng điển hình bao gồm các công cụ kiểm tra khuyết tật bề mặt wafer, máy định hình quang học, hệ thống quét tiêu điểm laser, kiểm tra bề ngoài bề mặt thủy tinh và đo lường chính xác mặt nạ quang. Nhu cầu cốt lõi của những thiết bị như vậy không phải là cắt nhiều mà là quét và tạo ảnh có độ chính xác cao-ổn định. Đặc tính không{7}}từ tính của chùm tia bảo vệ đường dẫn quang học và cảm biến; độ ổn định chiều cao đảm bảo dữ liệu đo không bị trôi trong quá trình quét trong thời gian dài-; giảm chấn cao ngăn chặn rung động để đảm bảo hình ảnh rõ ràng. So với dầm hợp kim nhôm và gang, dầm đá granite không có từ tính không có nguy cơ từ hóa. Độ chính xác của chúng giảm dần trong thời gian sử dụng dài hạn và giảm thời gian ngừng hoạt động để hiệu chỉnh. UNPARALLELED hỗ trợ phát triển tùy chỉnh theo kích thước buồng của khách hàng, bố trí đường dẫn quang và giao diện lắp đặt, đặt trước các khe định tuyến, lỗ tránh và tham chiếu lắp đặt cho các bộ phận quang học.
5. Kiểm tra nhà máy-toàn diện để đảm bảo chất lượng giao hàng
Bên cạnh các thử nghiệm tải độ cứng và độ chính xác hình học thông thường, các sản phẩm hoàn thiện còn được kiểm tra từ tính để xác nhận rằng toàn bộ dầm bao gồm các bộ phận nhúng là không-có từ tính. Kiểm tra độ chính xác hình học sử dụng thiết bị đo lường có thể truy nguyên CNAS. Các tài liệu đầy đủ bao gồm hồ sơ sạch sẽ, báo cáo thử nghiệm vật liệu và dữ liệu biến dạng tải được cung cấp. Sử dụng bao bì không bụi-để tránh nhiễm bẩn trong quá trình vận chuyển. Đối với các mô hình di chuyển-dài, chất kết dính có độ biến động thấp{7}}được sử dụng cho các dầm lắp ráp và các mối nối được đặt ở vùng ứng suất-thấp mà không ảnh hưởng đến tham chiếu đo lường và quang học của lõi.
Phần kết luận
Trong thiết bị kiểm tra độ chính xác quang học và bán dẫn, từ trường tản lạc trực tiếp làm gián đoạn hình ảnh quang học và phép đo tín hiệu yếu, điều mà các chùm kim loại truyền thống khó có thể tránh khỏi hoàn toàn. Dầm đá granit có độ chính xác từ tính không-có từ tính TUYỆT VỜI sử dụng nền đá không từ tính-tự nhiên, kết hợp với công nghệ xử lý sạch và-nhúng không từ tính, mài-có độ chính xác cực cao và công nghệ xử lý sạch. Chúng đạt được môi trường-không từ tính, độ biến dạng nhiệt thấp, độ cứng cao với khả năng giảm rung và đồng thời-độ ổn định chiều dài hạn. Hoàn toàn phù hợp cho thiết bị đo lường quang học và kiểm tra tấm bán dẫn, những chùm tia này cung cấp vật mang chuyển động thuần túy và ổn định cho các hệ thống quang học và-các đơn vị đo lường nhạy cảm từ tính.