Các bộ phận ổ trục-Granit Air: Ưu điểm ứng dụng cốt lõi cho các giai đoạn chuyển động tốc độ cực cao-Cao{2}}

Tất cả các thành phần đá granit đặc biệt-chịu lực{1}}của UNPARALLELED đều sử dụng đá granit mật độ cao màu đen UNPARALLELED®-tự phát triển với mật độ nguyên liệu thô là 3100kg/m³. Với cấu trúc tinh thể dày đặc và đồng nhất, nó mang lại các đặc tính vật lý toàn diện vượt trội hơn nhiều so với các đế bằng đá cẩm thạch, gang và hợp kim nhôm thông thường, thích ứng hoàn hảo với các điều kiện vận hành tốc độ cao 2m/s và khả năng tăng tốc cao của 3G.
Độ giãn nở nhiệt cực thấp-Loại bỏ độ lệch chuẩn do tạo nhiệt tốc độ cao-gây ra
Hệ số giãn nở nhiệt của đá granit chỉ bằng một-một phần ba hệ số giãn nở nhiệt của thép. Sự tăng nhiệt độ cục bộ được tạo ra bởi chuyển động tịnh tiến qua lại tốc độ cao của các bệ và sự tỏa nhiệt liên tục từ động cơ tuyến tính sẽ không làm biến dạng các bề mặt dẫn hướng ổ trục không khí và các bề mặt chuẩn chịu lực{4}}. Trong quá trình quét-tốc độ cao và vận hành dây chuyền sản xuất liên tục 24- giờ, độ phẳng và độ song song vẫn không bị trôi nhiệt, đảm bảo đầu ra ổn định với độ chính xác định vị lặp lại ở cấp độ nanomet.
Giảm chấn cao tự nhiên giúp ngăn chặn sự cộng hưởng và rung động ở tốc độ cao
Cấu trúc tinh thể dày đặc có khả năng giảm rung tuyệt vời, có khả năng hấp thụ hơn 90% năng lượng rung tần số cao. Rung-tự kích thích được tạo ra do khởi động-dừng thường xuyên và-chuyển động qua lại tốc độ cao của các bệ đỡ không khí{6}}cũng như nhiễu rung bên ngoài từ máy bơm chân không, bộ điều khiển và thiết bị laze xung quanh trong xưởng, có thể được làm giảm nhanh chóng bằng đế đá granit, tránh sự lệch đường quang và dữ liệu kiểm tra tăng vọt khi di chuyển ở tốc độ-cao.
Không-Từ tính, Sạch và Ăn mòn-Chống, Thích hợp cho Phòng sạch Bán dẫn
Vật liệu phi kim loại tự nhiên-này hoàn toàn không có-từ tính và sẽ không hấp thụ bụi kim loại cũng như mảnh vụn cắt. Nó chống lại sự ăn mòn của axit, kiềm, dung môi cản quang và chất điện phân. Bề mặt được xử lý bằng phương pháp đánh bóng-không bụi đặc biệt, không kết tủa ion kim loại và tạo vết các chất dễ bay hơi, tuân thủ các tiêu chuẩn về độ sạch của chất bán dẫn SEMI. Nó giúp loại bỏ nguy cơ nhiễm bẩn các tấm bán dẫn và thấu kính quang học, phù hợp với các kịch bản sản xuất có độ sạch-cao chẳng hạn như kiểm tra chip và phủ chân không.
Độ cứng cực-Cao mang lại khả năng chống mài mòn lâu dài-, không bị suy giảm độ chính xác sau khi hoạt động ở tốc độ cao-cao trong thời gian dài-
Với độ cứng Mohs từ 6–7, nó có khả năng chống mài mòn và va đập. Bề mặt chuẩn của dẫn hướng ổ trục không khí-không bị mài mòn sau khi trượt nổi tốc độ cao-cao trong thời gian dài, loại bỏ nhu cầu mài lại và hiệu chỉnh thường xuyên, với tuổi thọ sử dụng trên 30 năm. Nó giúp giảm đáng kể chi phí bảo trì và thay thế công cụ đo lường sau này cho các nhà sản xuất thiết bị cao cấp-. Tất cả nguyên liệu thô bằng đá granit đều được chuyển đến kho dự trữ rộng 20.000㎡ độc quyền của chúng tôi để kéo dài quá trình lão hóa tự nhiên nhằm giải phóng hoàn toàn ứng suất dư bên trong của đá, tránh biến dạng thành phần chậm và các khoảng trống mang không khí{13}}không cân bằng dưới tải trọng tốc độ cao-cao trong thời gian dài.
II. Các quy trình kết cấu ổ trục không khí-tích hợp được điều chỉnh phù hợp với yêu cầu chuyển động động tốc độ cực cao-Cao-
Đế chịu lực-không khí bằng kim loại chia tách thông thường có độ cứng yếu, rò rỉ không khí tại các khe hở nối và dễ bị biến dạng dưới tải trọng động tốc độ-cao. Các bộ phận ổ đỡ không khí- bằng đá granite tích hợp được tùy chỉnh từ UNPARALLELED dành cho các giai đoạn tốc độ cực-cao{5}} tích hợp các lỗ nhúng, thanh dẫn hướng ổ đỡ không khí-đóng, các khe lắp hình chữ T-và các mốc định vị tải trọng-nặng. Nhiều quy trình cấu trúc được tối ưu hóa phục vụ cho điều kiện làm việc tốc độ cao.
Đúc nguyên khối tích hợp, độ cứng cao để chống lại tác động-tốc độ cao
Tận dụng khả năng xử lý thành phần cực lớn của nhà máy, chúng tôi sản xuất các đế chịu lực khí-bằng đá granite tích hợp có trọng lượng một mảnh lên đến 100 tấn và tổng chiều dài là 20 mét. Không có mối nối phân đoạn, độ cứng tổng thể được tăng cường đáng kể. Khi chịu khả năng tăng tốc cao của 3G trong điều kiện không-tải và tải tác động khi dừng tốc độ cao-khẩn cấp, đế sẽ không bị cong và biến dạng. Khe hở mang{11}không khí luôn duy trì màng không khí ổn định ở mức 5~10μm, loại bỏ tình trạng giật hình và lệch quỹ đạo khi di chuyển ở tốc độ cao.
Quy trình mài chính xác dành cho lỗ tiết lưu-được tích hợp sẵn
Các lỗ tiết lưu của ổ trục khí-được gia công chính xác trực tiếp vào thân dẫn hướng bằng đá granite. Vị trí lỗ, khẩu độ và độ sâu bướm ga được kiểm soát thông qua quá trình mài ở cấp độ nanomet-để đảm bảo luồng khí ra đồng đều và ổn định. So với cấu trúc có bộ điều tiết bên ngoài, luồng không khí không bị rò rỉ khi di chuyển ở tốc độ-cao, lực nổi được phân bố đều, chuyển động hoạt động trơn tru mà không bị dính-trượt, dao động tốc độ tốt hơn 0,01%, đạt độ phân giải chuyển động là 1nm và độ chính xác định vị lặp lại là 50nm.
Bố trí ổ trục-Tải không khí-nặng để phân bổ đều tải trọng động tốc độ cao-
Mô phỏng ứng suất phần tử hữu hạn được thực hiện theo hành trình giai đoạn, tốc độ vận hành và gia tốc tối đa để tối ưu hóa cách bố trí các điểm hỗ trợ ổ đỡ không khí ở đáy-. Tải trọng động được tạo ra bởi sự chuyển động qua lại tốc độ cao-được phân bố đều trên toàn bộ nền đá granite, ngăn ngừa sự tập trung ứng suất cục bộ có thể dẫn đến sập các bề mặt dẫn hướng và hỏng ổ trục không khí-. Các khe chữ T-có thể tùy chỉnh và lỗ lắp ren được dành riêng để phù hợp với yêu cầu lắp ráp của động cơ tuyến tính, bộ mã hóa tuyến tính, mô-đun hấp phụ chân không và cơ chế tinh chỉnh sáu-trục{7}}.
III. Kiểm tra và sản xuất chính xác toàn bộ-chuỗi để đảm bảo độ chính xác giao hàng ở các giai đoạn tốc độ cao-
UNPARALLELED tuân thủ triết lý cốt lõi: "Không thể đạt được sản xuất chính xác nếu không có phép đo chính xác". Được hỗ trợ bởi một-hệ thống gia công cực kỳ chính xác hoàn chỉnh, môi trường sản xuất có nhiệt độ-không bụi-không đổi và hệ thống kiểm tra đo lường-đẳng cấp thế giới, chúng tôi đảm bảo mọi bộ thành phần ổ trục không khí bằng đá granit-đáp ứng các tiêu chuẩn chấp nhận thiết bị toàn cầu để có độ chính xác-tốc độ cao.
Tập đoàn này vận hành hai nhà máy sản xuất được tiêu chuẩn hóa với tổng diện tích 200.000㎡, được trang bị một xưởng gia công chính xác có độ chính xác-không đổi-nhiệt độ,{6}}độ ẩm-không bụi bán dẫn có diện tích 10.000㎡. Sàn nhà xưởng được đổ toàn bộ bằng bê tông-siêu cứng cấp quân sự{10}}có độ dày không dưới 1000mm. Các rãnh cách ly rung (rộng 500mm và sâu 2000mm) bao quanh xưởng, kết hợp với hệ thống cần trục im lặng trên cao để cách ly hoàn toàn nhiễu rung và dao động nhiệt độ/độ ẩm trong quá trình gia công, đảm bảo độ chính xác mài ổn định và nhất quán cho các bề mặt chuẩn dẫn hướng ổ trục không khí.
Công ty được trang bị bốn máy mài CNC cực lớn có nguồn gốc từ Nam Thông Đài Loan, mỗi chiếc trị giá hơn 500.000 USD để hoàn thiện việc tạo hình thô các bộ phận ổ trục không khí. Những thợ thủ công mài kỳ cựu với hơn 30 năm kinh nghiệm trong ngành hoàn thiện thủ công các thanh dẫn hướng ổ trục không khí và bề mặt chuẩn chịu lực{7}}, dựa vào cảm nhận xúc giác tinh tế ở cấp độ micron-để đạt được gia công chính xác với độ phẳng nanomet. Những thợ thủ công này được các khách hàng thiết bị bán dẫn và quang học trên toàn thế giới đặt biệt danh là "cấp độ điện tử đi bộ".
Kiểm tra chính xác-chiều trước khi giao hàng sử dụng các thiết bị đo lường quốc tế-hàng đầu thế giới, bao gồm đồng hồ đo quay số Mahr 0,5μm của Đức, máy kiểm tra độ nhám Mitutoyo, thước đo điện tử WYLER của Thụy Sĩ và giao thoa kế laser Renishaw của Anh. Kiểm tra toàn bộ bao gồm độ phẳng, độ vuông góc, độ song song, độ chính xác định vị của lỗ ga và tính đồng nhất của các khe hở mang-không khí. Tất cả các thiết bị đo đều có chứng nhận hiệu chuẩn chính thức do Viện Đo lường Tế Nam và Viện Đo lường Sơn Đông cấp, với tất cả các giá trị đo được đều có thể truy nguyên hoàn toàn từ Viện Đo lường Quốc gia Trung Quốc. Dữ liệu gia công của sản phẩm tương thích với các thông số kỹ thuật đo lường chính thống toàn cầu bao gồm DIN, ASME, JIS, GB, BS, GOST và EIE. Các nhà sản xuất thiết bị ở nước ngoài không yêu cầu hiệu chuẩn thứ cấp, thích ứng với các tình huống R&D hoàn chỉnh, sản xuất hàng loạt và kiểm tra thiết bị chuyển động tốc độ cao-trên toàn thế giới.
Ưu điểm kép của ma sát-Ổng khí tự do + Độ ổn định cao-Đá granite ổn định: Không dính-Trượt hoặc trễ khi chuyển động tốc độ cao-
Khí nén tạo thành màng không khí cấp micron-để thực hiện hỗ trợ nổi không-tiếp xúc với hệ số ma sát thấp tới 0,0005, loại bỏ hoàn toàn hiệu ứng dính-của thanh dẫn hướng cơ khí. Quỹ đạo của chuyển động tịnh tiến ở tốc độ cao và khả năng tăng tốc cao có độ lặp lại cao, với lỗi định vị động được kiểm soát trong phạm vi-micron phụ, phù hợp với-quét wafer tốc độ cao, ghi trực tiếp bằng laser và các kịch bản đo giao thoa kế có độ chính xác-cao.
Khả năng cách ly rung động cao + Biến dạng nhiệt cực thấp-Dữ liệu kiểm tra không bị trôi khi vận hành ở tốc độ cao-liên tục
Chất nền đá granite mang lại hiệu quả kép về giảm rung và ổn định nhiệt độ. Các giai đoạn có thể chạy liên tục ở tốc độ cao trong 24 giờ. Trong điều kiện làm việc quét liên tục và kiểm tra hàng loạt trong thời gian dài, các mốc dữ liệu vẫn-không bị lệch, không bị biến dạng hình ảnh-và dữ liệu kiểm tra không bị nhảy-, cải thiện đáng kể tỷ lệ sử dụng dây chuyền sản xuất liên tục và năng suất sản phẩm.
Sạch sẽ, không-Từ tính và ăn mòn-Chống, thích ứng với môi trường khắc nghiệt của phòng sạch bán dẫn
Khác với các đế kim loại dễ bị từ hóa và kết tủa ion kim loại, các bộ phận mang không khí bằng đá granit{0}}đáp ứng các tiêu chuẩn kiểm soát độ sạch của chất bán dẫn. Chúng phù hợp với các điều kiện xưởng phức tạp với môi trường-không có bụi và các dung môi hóa học dễ bay hơi như quang khắc, đóng gói tấm bán dẫn, kiểm tra pin chính xác và lớp phủ chân không perovskite, không có nguy cơ làm nhiễm bẩn các tấm bán dẫn và các bộ phận quang học.
Tuổi thọ sử dụng lâu dài và chi phí bảo trì thấp, giảm toàn bộ-chi phí vòng đời của thiết bị cao cấp-
Cấu trúc ổ trục-không khí-không ma sát kết hợp với các bề mặt chuẩn bằng đá granit-chống mài mòn mang lại tổn thất do mài mòn gần như bằng không, loại bỏ việc tháo rời,-mài lại và hiệu chỉnh thường xuyên. Chất nền có khả năng chống gỉ-và không bị biến dạng dão, duy trì độ chính xác ổn định sau khi sử dụng-lâu dài. Nó giúp giảm đáng kể thời gian ngừng hoạt động của thiết bị để bảo trì và thay thế phụ tùng, cắt giảm chi phí vận hành toàn diện cho các nhà sản xuất thiết bị và nhà máy-người dùng cuối.
V. Kịch bản ứng dụng rộng rãi trong-Thiết bị cao cấp và sự công nhận trên thị trường toàn cầu
Tận dụng nhiều điểm mạnh cốt lõi bao gồm đặc tính vật liệu cao cấp, cấu trúc ổ trục không khí-tích hợp, độ chính xác gia công nanomet, khả năng cách ly rung-không bụi và khả năng tương thích đo lường toàn cầu, các bộ phận ổ trục không khí bằng đá granite-không thể sánh bằng đã trở thành bộ phận chuẩn mực tiêu chuẩn cho các giai đoạn chuyển động tốc độ cực cao- trên toàn thế giới, được áp dụng rộng rãi trong tất cả các loại thiết bị có độ chính xác cao cấp-:
Thiết bị kiểm tra chất bán dẫn: Các giai đoạn quét khuyết tật tấm bán dẫn tốc độ cao-, nền tảng kiểm tra quang học AOI, nền tảng tốc độ cao-động cơ tuyến tính XY để phát hiện lỗ hổng đóng gói tia X-;
Thiết bị xử lý quang học và laze: Máy ghi trực tiếp bằng laze, giao thoa kế quang học, các bệ định vị-tốc độ cao để kiểm tra thấu kính-có độ chính xác cao;
Thiết bị kiểm tra độ chính xác năng lượng mới: Nền tảng kiểm tra-tốc độ cao dành cho thiết bị tách pin lithium, mô-đun chuyển động tốc độ cao- chân không dành cho lớp phủ màng mỏng perovskite;
Phòng thí nghiệm đo lường và đo lường độ chính xác hàng không vũ trụ: Nền tảng hiệu chuẩn định vị nanomet cho các viện đo lường quốc gia, thiết bị đo lường chính xác tốc độ cao-cho các bộ phận hàng không vũ trụ cực nhỏ.
Hiện tại, các bộ phận ổ đỡ không khí bằng đá granite-VÔ TUYỆT VỜI được xuất khẩu sang các thị trường thiết bị chính xác trên toàn cầu, hỗ trợ sâu sắc cho các doanh nghiệp Fortune 500 và các nhà sản xuất điều khiển chuyển động chính xác hàng đầu toàn cầu bao gồm GE, Apple, Samsung, Bosch, THK, HIWIN, MISUMI và Akribis. Chúng tôi duy trì hợp tác kỹ thuật-dài hạn về công nghệ đo điểm chuẩn chính xác tốc độ cao- với các viện nghiên cứu hàng đầu và cơ quan đo lường của chính phủ: Đại học Quốc gia Singapore, Đại học Công nghệ Nanyang, Đại học Stockholm, các viện đo lường trên khắp Châu Âu, Châu Mỹ và Nga, cũng như Đại học Chiết Giang, Đại học Giao thông Tây An, Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc và Viện Quang học, Cơ học Tinh tế và Vật lý Trường Xuân trong nước. Tính ổn định động-tốc độ cao, khả năng thích ứng-không bụi và khả năng tương thích đo lường toàn cầu của các bộ phận ổ trục không khí bằng đá granit-của chúng tôi đã được ngành công nghiệp thiết bị chính xác toàn cầu công nhận chính thức.
Kết luận ngành
Các ngành bán dẫn, chế tạo vi mô quang học và kiểm tra độ chính xác năng lượng mới trên toàn cầu tiếp tục phát triển để đạt được tốc độ vận hành cao hơn, khả năng tăng tốc cao hơn và độ chính xác định vị động ở cấp độ nanomet-. Hiệu suất của các sóng mang chuẩn cho các giai đoạn chuyển động tốc độ cực cao- quyết định trực tiếp độ chính xác động của thiết bị, năng suất dây chuyền sản xuất và độ tin cậy-lâu dài. UNPARALLELED Group sẽ luôn đề cao các giá trị cốt lõi của doanh nghiệp là "Cởi mở, Đổi mới, Chính trực, Thống nhất" và thực hành tinh thần doanh nghiệp "Dám đi đầu, Dám đổi mới". Chúng tôi sẽ liên tục lặp lại các quy trình sửa đổi dành cho đá granite có mật độ-cao, thiết kế cấu trúc tích hợp của bộ tiết lưu ổ trục khí-nhúng, xử lý bề mặt không bụi-dành riêng cho chất bán dẫn, mài cấp độ nanomet-của các bộ phận ổ trục khí-không khí{12}}ba chiều và các kế hoạch kiểm tra toàn bộ-quy trình, đồng thời tiếp tục nâng cấp các sản phẩm thành phần ổ trục khí-đá granite thích ứng với-thế hệ mới -kiểm tra tấm bán dẫn tốc độ cao, xử lý bằng laser và thiết bị phủ năng lượng mới. Trong tương lai, nhóm sẽ tiếp tục đào sâu bố cục của mình trong kênh hỗ trợ cho các tiêu chuẩn chuyển động siêu chính xác-. Chúng tôi cung cấp các giải pháp đảm bảo độ chính xác hoàn chỉnh cho các giai đoạn chuyển động tốc độ cao-cho các nhà sản xuất thiết bị có độ chính xác cao-trên toàn cầu thông qua hệ thống giảm chấn-sạch, cực kỳ sạch, được tiêu chuẩn hóa, ổn định động ở tốc độ cao và các thành phần tiêu chuẩn mang không khí bằng đá granit phổ quát-toàn cầu, giúp ngành sản xuất chính xác toàn cầu vượt qua các nút thắt về độ chính xác động tốc độ cao-và dần dần tiến tới tầm nhìn phát triển dài hạn{26}}của chúng tôi là "trở thành một doanh nghiệp đẳng cấp thế giới{27}}được công chúng tin tưởng và yêu mến".