Trong cuộc đua về kỹ thuật in thạch bản NA EUV-cao, độ cứng và trọng lượng của vật liệu là rất quan trọng. Gốm sứ tiên tiến (Al₂O₃ / SiC) cung cấp Mô đun Young's là 380 GPa-gần gấp đôi so với thép-với trọng lượng chỉ bằng một nửa. Với độ dẫn nhiệt 30 W/m • K, các thành phần này cho phép định vị tăng tốc nhanh,-cao cần thiết cho quá trình sản xuất chip có giá trị dưới-$5nm$.
1. Khắc phục quán tính bằng vật liệu có khối lượng-độ cứng cao, thấp-
Các giai đoạn wafer tốc độ cao yêu cầu khả năng tăng tốc cực cao mà không có dao động cấu trúc.Linh kiện gốm sứcung cấp tỷ lệ độ cứng-trên-trọng lượng cao nhất hiện có. Với mật độ chỉ 3,9 g/cm³, chùm gốm và thanh trượt cho phép chu kỳ sản xuất nhanh hơn và chuyển động lực G-cao hơn trong khi vẫn duy trì độ chính xác định vị ± 10 nm trên đường quét.
2. Độ dẫn nhiệt và thách thức của tải nhiệt EUV
Kỹ thuật in thạch bản cực tím (EUV) tạo ra nhiệt lượng đáng kể trong chân không. Không giống như kim loại giãn nở và cong vênh, Alumina (Al₂O₃) và Silicon Carbide (SiC) có tính dẫn nhiệt cao và độ giãn nở thấp. Sự kết hợp này đảm bảo rằng nhiệt được tiêu tán một cách hiệu quả mà không gây ra sự "trôi" cấp độ micron{2}}làm hỏng tiêu điểm của phép chiếu in thạch bản.
3. Tại sao Gạch là Vật liệu Lý tưởng cho Môi trường Chân không?
Các quy trình-đầu cuối của chất bán dẫn xảy ra trong môi trường chân không cực-trong đó hiện tượng thoát khí là mối lo ngại chính. Gốm sứ ổn định về mặt hóa học và không tạo ra khí thải, đảm bảo tính toàn vẹn chân không không bao giờ bị ảnh hưởng. Bề mặt không xốp của chúng cũng giúp đơn giản hóa quy trình làm sạch, đáp ứng các quy trình chống ô nhiễm nghiêm ngặt của môi trường bán dẫn Loại 10.
4. Mài chính xác: Đạt được dung sai hình học dưới{1}}Micron
Độ cứng của gốm sứ (độ cứng Vickers > 1500) khiến chúng khó gia công nhưng cực kỳ ổn định sau khi hoàn thiện. UNPARALLELED sử dụng phương pháp mài kim cương chuyên dụng để đạt được độ phẳng và độ song song Nhỏ hơn hoặc bằng 0,5 μm. Điều này đảm bảo rằng vòng bi khí hoặc mâm cặp chân không được gắn trên các bộ phận này hoạt động với độ đồng nhất-của màng chất lỏng hoàn hảo.
5. Thuộc tính phi từ tính cho ứng dụng chùm tia điện tử
Đối với việc kiểm tra hoặc in thạch bản bằng chùm tia điện tử (e{0}}chùm tia, nhiễu từ là không thể chấp nhận được. Gốm sứ có tính cách tự nhiên là-không có từ tính và cách điện, mang lại môi trường trung tính cho các chùm tia nhạy cảm. Điều này ngăn nhiễu loạn điện từ ảnh hưởng đến quỹ đạo của các electron, đảm bảo rằng các mẫu có kích thước nano được khắc hoặc kiểm tra với độ chính xác tuyệt đối.
So sánh hiệu suất gốm và kim loại
|
Tài sản |
Nhôm (Al₂O₃) |
thép không gỉ |
Hợp kim nhôm |
|---|---|---|---|
|
Mô đun Young (GPa) |
350 - 380 |
200 |
70 |
|
Mật độ (g/cm³) |
3.9 |
7.9 |
2.7 |
|
Giãn nở Nhiệt (10⁻⁶/K) |
7.2 - 8.2 |
16.0 |
23.0 |
|
Độ cứng (HV) |
1,500 - 1,800 |
200 |
100 |
|
Ảnh hưởng từ tính |
Không có |
Cao/Trung bình |
Không có |
Câu hỏi thường gặp: Gốm sứ chính xác trong công nghiệp
Câu hỏi 1: Alumina 99% có tốt hơn 95% đối với các bộ phận chính xác không?
Đ: Vâng. Độ tinh khiết cao hơn (99%+) mang lại độ bền cơ học tốt hơn, độ bền điện môi cao hơn và khả năng chống ăn mòn vượt trội, rất quan trọng đối với các điều kiện khắc nghiệt thường thấy trong khắc hoặc in thạch bản plasma bán dẫn.
Câu 2: Bạn có thể sản xuất vòng bi khí gốm tùy chỉnh không?
Đ: Vâng. Chúng tôi chuyên về các thành phần ổ trục không khí bằng gốm sứ OEM. Bằng cách kết hợp độ cứng của gốm với khả năng mài chính xác của chúng tôi, chúng tôi tạo ra các bề mặt chịu lực không khí duy trì độ cao-micron-một cách nhất quán trong phạm vi di chuyển lớn.
Câu 3: Bạn xử lý độ giòn của vật liệu gốm như thế nào?
Trả lời: Mặc dù gốm sứ giòn nhưng chúng có khả năng nén rất mạnh. Chúng tôi sử dụng phân tích phần tử hữu hạn (FEA) để tối ưu hóa thiết kế, đảm bảo tránh được sự tập trung ứng suất và mô đun cao của vật liệu được tận dụng tối đa để tạo độ cứng.
Câu hỏi 4: Thời gian sản xuất điển hình cho các bộ phận gốm tùy chỉnh là bao lâu?
Trả lời: Do quá trình nung và mài kim cương phức tạp nên thời gian thực hiện thường dao động từ 8 đến 12 tuần. Tuy nhiên, chuỗi cung ứng tích hợp của chúng tôi cho phép chúng tôi đẩy nhanh các nguyên mẫu cho các dự án R&D quan trọng trong lĩnh vực bán dẫn.
Câu hỏi 5: Đồ gốm có phù hợp với các ứng dụng có nhiệt độ-cao không?
A: Quá mức như vậy. Gốm Alumina duy trì tính toàn vẹn cấu trúc của chúng ở nhiệt độ trên 1.500 độ, khiến chúng trở nên lý tưởng cho các thiết bị xử lý nhiệt trong cả ngành công nghiệp bán dẫn và hàng không vũ trụ.
Câu hỏi 6: Làm cách nào để xác minh độ chính xác của thành phần gốm?
Đáp: Chúng tôi sử dụng CMM (Máy đo tọa độ) với đầu dò-có đầu hồng ngọc và giao thoa kế laser để xác minh tất cả các kích thước. Mỗi bộ phận được vận chuyển kèm theo một báo cáo kiểm tra chi tiết xác nhận rằng nó đáp ứng dung sai μm được yêu cầu.